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      產品詳情
      • 產品名稱:日本SIMCO思美高4214 型離子發生器

      • 產品型號:在線離子發生器
      • 產品廠商:SIMCO思美高
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      • 折扣價格:0
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      簡單介紹:
      4214 型離子發生器即使在高純度 N2 環境中也支持“擴展 ISO 1 級,10nm”的高清潔度,并實現出色的離子平衡。
      詳情介紹:

      特征

      支持超低粒子 使用單晶硅電極。
      獨特的不向外部排放顆粒的清潔機制,確保長期穩定的清潔水平
      使用無需任何調整的智能控制電路
      內置傳感器持續監測離子產生,實現可靠的靜電消除
      控制器、電源 內置集成緊湊型設計
      自動高壓關閉功能,在低流量下保護產品 適用于先進的半導體制造工藝和其他超低顆粒應用
      24V DC 驅動

      規格

      輸入電壓 24V DC+/-5% 6W 典型值。
      離子平衡 <+/-25V 150mm 距離 40LPM 無管道連接
      靜電消除時間 <10 秒 150 毫米距離 40LPM 無管道
      +/-1kv → +/- 100v 通過充電板監視器
      離子發生法 電暈放電型 高頻交流方式
      清潔度 ISO Class1,0.1 微米
      “擴展 ISO Class1,10nm”*
      電極 單晶硅可更換
      相應的吹掃氣體 N2 > 99.998%
      流量 40LPM (36.5Kpa) 至 90LPM (171kpa)
      *大吹掃壓力 207Kpa (=100LPM 流量)
      *高氣體溫度 60攝氏度
      N2 吹掃連接 世偉洛克 3/8" 外徑管道
      電離 N2 連接
      世偉洛克 1/2" OD 管道連接 ,帶 1/4NPT 內螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC
      工作溫度限制 15至60攝氏度
      信號輸出 開/關觸點處的警報和低離子輸出
      尺寸 長 152.4mm x 寬 72.4mm x 深 32mm
      不包括管道
      重量 640克
      外部的 不銹鋼
      安裝方式 背面M5螺絲 螺絲長度必須小于10mm
      擴展的 ISO 1 級,10nm
      是 ION Systems **定義的清潔度定義,以支持細顆粒物管理。ISO14644-1 定義*小粒徑為 100nm。擴展 ISO 等級 1,10nm 使用與 ISO14644-1 相同的允許顆粒數計算公式,對于 10nm 或更大的晶粒尺寸,允許的顆粒數為 1200pc/m3 (34 pc/ft3)。
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      粵公網安備 44030902000386號

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